微小气体流量计主要是针对流量而产生的一款新式流量计,主要是测量一些非易燃易爆的干燥气体,原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时,在传感器的周边形成稳定的
温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时,气体的流动将破坏该温度场的分布,形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。
西安云仪仪器仪表在
流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。
由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同,因而能测量气体的质量流量或总流量。