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电容式、单晶硅和扩散硅压力变送器的区别

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电容式、单晶硅和扩散硅压力变送器的区别

压力变送器从传感器种类来讲一般分为三种：电容式、单晶硅、扩散硅。电容式可以做微压，其他两种只能做正常压力。
他们的工作原理如下

1.电容式压力变送器：过程压力通过两侧或一侧隔离膜片，灌充液作用在δ元件(即敏感元件)内张紧的测量膜片上,测量膜片与两侧绝缘体上的电容极板各组成一个电容器,在无压力通入或两侧压力均等时测量膜片处于中间位置,两个电容器的电容量相等.当两侧压力不一致时,致使测量膜片产生位移,其位移量和压力差成正比,这种位移转变为电容极板上形成的差动电容.由电子线路把差动电容转换成4-20mADC的二线制电流信号,压力变送器和绝对压力变送器的工作原理和差压变送器相同,所不同的是低压室压力是大气压或真空。

2.单晶硅压力变送器采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。单晶硅压力/差压变送器(Monocrystalline Silicon Pressure Transmitter) 用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度、压力，然后将其转变成4-20mA HART电流信号输出，也可与手操器相互通信，通过他们进行参数设定、过程控制。

3.另一种扩散硅压力变送器是将测量膜片感受的力传导到一个扩散硅传感器，通过扩散硅传感器的输出来得出被测压力。由于压力不是作用在传感器上而是加了一次传递，所以相对精度低一些，且扩散硅元件品质不一(多数变送器厂家不是自己生产扩散硅元件)导致质量差别很大。但是，但是价格可以很低。
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