带你认识微压力传感器

带你认识微压力传感器  

微压力传感器的工作原理:压力传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

在微传感器中微压力传感器是其中一个主要的分支。传感器的灵敏度和线性度是传感器最重要的性能特征。特别是对于超微压力传感器而言。小量程的微压力传感器的灵敏度和线性度一直是阻碍微压力传感器发展的一大因素。

灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。

微压力传感器是采用半导体材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器。与传统压力传感器比拟，微压力传感用具有精度高、敏捷度高、动态特性好、体积小、耐侵蚀、本钱低等长处。纯单晶硅的材料疲惫小，采用这种材料制造的微压力传感器的长期不乱性好。同时，微压力传感器易于与微温度传感器集成，增加温度补偿精度，大幅进步传感器的温度特性和丈量精度。假如将2个微压力传感器集成，又可以实现静压补偿，从而进步压力传感器的静压特性。由此可见，微压力传感器用具有很多传统压力传感器不具备的长处，能够很好地满足石化行业对压力传感器的需求。
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