薄膜压力传感器工作原理

薄膜微压力传感器在测量过程中，压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，同时通过电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号，这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。

对于薄膜压力传感器来说，灵敏度和线性度是薄膜压力力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器，必需探索出一种薄膜压力力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中，发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。